Integriertes magnetisches Lagerungs- und Antriebssystem für Halbleiter-Wafer

Unité de recherche

INNOSUISSE

Numéro de projet

8068.2;4 NMPP-NM

Titre du projet

Integrated Magnetic Bearing and Drive System for Semiconductor Wafers

Titre du projet anglais

Integrated Magnetic Bearing and Drive System for Semiconductor Wafers

Projets afférents

Unité de recherche:	Schweizerische Agentur für Innovationsförderung
Numéro de projet	9779.1;3 PFNM-NM
Titre du projet	Hochbeschleunigendes integriertes magnetisches Lagerungs- und Antriebssystem für Halbleiter-Wafer
Titre du projet (anglais)	High-Acceleration Integrated Magnetic Bearing and Drive System for Semiconductor Wafers