Integriertes magnetisches Lagerungs- und Antriebssystem für Halbleiter-Wafer

• Forschungsstelle: INNOSUISSE
• Projektnummer: 8068.2;4 NMPP-NM
• Projekttitel Englisch: Integrated Magnetic Bearing and Drive System for Semiconductor Wafers

Kurzbeschreibung (Deutsch)

Integriertes magnetisches Lagerungs- und Antriebssystem für Halbleiter-Wafer

Kurzbeschreibung (Englisch)

Integrated Magnetic Bearing and Drive System for Semiconductor Wafers

Abstract (Deutsch)

Bei vielen Prozessen in der Herstellung von Integrierten Halbleiterschaltungen wird der Wafer um seine eigene Achse rotiert. Damit wird eine homogenere Einwirkung des Prozesses (z.B. der Wärmestrahlung beim sogenannten 'Rapid Thermal Processing', abgekürzt RTP) auf den Wafer erreicht. In dem zur Förderung beantragten Projekt 'Integriertes magnetisches Lagerungs- und Antriebssystem für Halbleiter- Wafer' soll ein System zur berührungsfreien magnetischen Lagerung und Rotation eines 300 mm Wafers durch die Wand einer Prozesskammer hindurch entwickelt werden.