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Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
8068.2;4 NMPP-NM
Projekttitel
Integriertes magnetisches Lagerungs- und Antriebssystem für Halbleiter-Wafer
Projekttitel Englisch
Integrated Magnetic Bearing and Drive System for Semiconductor Wafers

Beteiligte
Bundesstelle/ Verwaltungseinheit Innosuisse
Schweizerische Agentur
für Innovationsförderung
Einsteinstrasse 2
CH-3003 Bern
+41 58 461 61 61 (Zentrale)
info@innosuisse.ch
www.innosuisse.ch/
Kontaktperson

 Prof. Dr.
Johann Kolar
inspire AG
Swiss Federal Institute of Technolo
Rämistrasse 101
CH-8006 Zürich
044 632 11 11
kolar@lem.ee.ethz.ch