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Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
8068.2;4 NMPP-NM
Projekttitel
Integriertes magnetisches Lagerungs- und Antriebssystem für Halbleiter-Wafer
Projekttitel Englisch
Integrated Magnetic Bearing and Drive System for Semiconductor Wafers
Projektstatus Abgeschlossen
 
Startdatum 01.06.2006
Endedatum 21.07.2008
 
Gesamtkosten bewilligt 364'800.00  CHF
Bereich 22 Förderbereich Nano / Micro
Proj. Kategorie Projekt
Forschungsart Angewandte Forschung und Entwicklung
NABS-Klassifikation Nicht aufteilbare / nicht zuteilbare Forschung
 
Fachbereiche
100 % T170 Elektronik
Letzte Änderung Projekt
27.11.2014