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Research unit
INNOSUISSE
Project number
8068.2;4 NMPP-NM
Project title
Integrated Magnetic Bearing and Drive System for Semiconductor Wafers

Associated projects
Research organisation: Schweizerische Agentur für Innovationsförderung
Project number 9779.1;3 PFNM-NM
Project title Hochbeschleunigendes integriertes magnetisches Lagerungs- und Antriebssystem für Halbleiter-Wafer
Project title (in English) High-Acceleration Integrated Magnetic Bearing and Drive System for Semiconductor Wafers