Untersuchung der plasmachemischen Reaktion bei der Reinigung von Metallen und Si-Wafern

Unité de recherche

INNOSUISSE

Numéro de projet

2634.1;1 MJK

Titre du projet

Untersuchung der plasmachemischen Reaktion bei der Reinigung von Metallen und Si-Wafern

Projets afférents

Unité de recherche:	Schweizerische Agentur für Innovationsförderung
Numéro de projet	2846.1;2 MJK
Titre du projet	Untersuchung der plasmatechnischen Reaktion bei der Reinigung von Silicium und von Metallen