Untersuchung der plasmachemischen Reaktion bei der Reinigung von Metallen und Si-Wafern

Forschungsstelle

INNOSUISSE

Projektnummer

2634.1;1 MJK

Projekttitel

Untersuchung der plasmachemischen Reaktion bei der Reinigung von Metallen und Si-Wafern

Texte zu diesem Projekt

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Kurzbeschreibung		-	-	-

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Kurzbeschreibung (Deutsch)	Untersuchung der plasmachemischen Reaktion bei der Reinigung von Metallen und Si-Wafern