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Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
2634.1;1 MJK
Projekttitel
Untersuchung der plasmachemischen Reaktion bei der Reinigung von Metallen und Si-Wafern
Projektstatus Abgeschlossen
 
Startdatum 19.09.1993
Endedatum 14.11.1996
 
Gesamtkosten bewilligt 114'600.00  CHF
Bereich 7 Mehrjahreskredit
Proj. Kategorie Projekt
Forschungsart Angewandte Forschung und Entwicklung
NABS-Klassifikation Industrielle Produktivität und Technologie
 
Fachbereiche
100 % Noch nicht erfasst
Letzte Änderung Projekt
27.11.2014