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Forschungsstelle
EU FRP
Projektnummer
96.0278-1
Projekttitel
PROMPT II: Process optimization in multiple dimensions for semiconductor technology II
Projekttitel Englisch
PROMPT II: Process optimization in multiple dimensions for semiconductor technology II

Zugehörige Projekte
Forschungsorganisation: SBF EU-Forschungsrahmenprogramme Multilaterale Forschungszusammenarbeit
Projektnummer 96.0278-2
Projekttitel PROMPT II: Process optimization in multiple dimensions for semiconductor technology II