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Forschungsstelle
EU FRP
Projektnummer
96.0278-1
Projekttitel
PROMPT II: Process optimization in multiple dimensions for semiconductor technology II
Projekttitel Englisch
PROMPT II: Process optimization in multiple dimensions for semiconductor technology II

Beteiligte
Bundesstelle/ Verwaltungseinheit
Kontaktperson

 Dr.
Lars Bomholt
ISE Integrated Systems Engineering
AG
Balgriststrasse 102
CH-8008 Zürich
01 389 97 00