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Unité de recherche
INNOSUISSE
Numéro de projet
9779.1;3 PFNM-NM
Titre du projet
High-Acceleration Integrated Magnetic Bearing and Drive System for Semiconductor Wafers
Titre du projet anglais
High-Acceleration Integrated Magnetic Bearing and Drive System for Semiconductor Wafers

Projets afférents
Unité de recherche: Schweizerische Agentur für Innovationsförderung
Numéro de projet 8068.2;4 NMPP-NM
Titre du projet Integriertes magnetisches Lagerungs- und Antriebssystem für Halbleiter-Wafer
Titre du projet (anglais) Integrated Magnetic Bearing and Drive System for Semiconductor Wafers