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Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
9779.1;3 PFNM-NM
Projekttitel
Hochbeschleunigendes integriertes magnetisches Lagerungs- und Antriebssystem für Halbleiter-Wafer
Projekttitel Englisch
High-Acceleration Integrated Magnetic Bearing and Drive System for Semiconductor Wafers
Projektstatus Abgeschlossen
 
Startdatum 01.10.2008
Endedatum 02.04.2013
 
Gesamtkosten bewilligt 208'880.00  CHF
Bereich 22 Förderbereich Nano / Micro
Proj. Kategorie Projekt
Forschungsart Angewandte Forschung und Entwicklung
NABS-Klassifikation Nicht aufteilbare / nicht zuteilbare Forschung
 
Fachbereiche
100 % T170 Elektronik
Letzte Änderung Projekt
27.11.2014