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Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
9779.1;3 PFNM-NM
Projekttitel
Hochbeschleunigendes integriertes magnetisches Lagerungs- und Antriebssystem für Halbleiter-Wafer
Projekttitel Englisch
High-Acceleration Integrated Magnetic Bearing and Drive System for Semiconductor Wafers

Zugehörige Projekte
Forschungsorganisation: Schweizerische Agentur für Innovationsförderung
Projektnummer 8068.2;4 NMPP-NM
Projekttitel Integriertes magnetisches Lagerungs- und Antriebssystem für Halbleiter-Wafer
Projekttitel (engl.) Integrated Magnetic Bearing and Drive System for Semiconductor Wafers