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Research unit
INNOSUISSE
Project number
9779.1;3 PFNM-NM
Project title
High-Acceleration Integrated Magnetic Bearing and Drive System for Semiconductor Wafers

Associated projects
Research organisation: Schweizerische Agentur für Innovationsförderung
Project number 8068.2;4 NMPP-NM
Project title Integriertes magnetisches Lagerungs- und Antriebssystem für Halbleiter-Wafer
Project title (in English) Integrated Magnetic Bearing and Drive System for Semiconductor Wafers