Untersuchung der plasmachemischen Reaktion bei der Reinigung von Metallen und Si-Wafern

Research unit

INNOSUISSE

Project number

2634.1;1 MJK

Project title

Untersuchung der plasmachemischen Reaktion bei der Reinigung von Metallen und Si-Wafern

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Short description (German)	Untersuchung der plasmachemischen Reaktion bei der Reinigung von Metallen und Si-Wafern