Miniaturisiertes Gasinjektionssystem für die dreidimensionale CVD mittels fokussiertem Elektronen- und Ionenstrahll

Unité de recherche

INNOSUISSE

Numéro de projet

10314.1;3 INST-NM

Titre du projet

Miniaturisiertes Gasinjektionssystem für die dreidimensionale CVD mittels fokussiertem Elektronen- und Ionenstrahll

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