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Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
10314.1;3 INST-NM
Projekttitel
Miniaturisiertes Gasinjektionssystem für die dreidimensionale CVD mittels fokussiertem Elektronen- und Ionenstrahll

Beteiligte
Bundesstelle/ Verwaltungseinheit Innosuisse
Schweizerische Agentur
für Innovationsförderung
Einsteinstrasse 2
CH-3003 Bern
+41 58 461 61 61 (Zentrale)
info@innosuisse.ch
www.innosuisse.ch/
Kontaktperson

 Dr.
Johann Michler
EMPA
Feuerwerkerstrasse 39
CH-3602 Thun
058 765 62 05
johann.michler@empa.ch