ServicenavigationHauptnavigationTrailKarteikarten

Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
10314.1;3 INST-NM
Projekttitel
Miniaturisiertes Gasinjektionssystem für die dreidimensionale CVD mittels fokussiertem Elektronen- und Ionenstrahll
Projektstatus Abgeschlossen
 
Startdatum 15.04.2009
Endedatum 03.03.2010
 
Gesamtkosten bewilligt 7'500.00  CHF
Bereich 19 Förderbereich GL
Proj. Kategorie Projekt
Forschungsart Angewandte Forschung und Entwicklung
NABS-Klassifikation Nicht aufteilbare / nicht zuteilbare Forschung
 
Fachbereiche
100 % T171 Mikroelektronik
Letzte Änderung Projekt
27.11.2014