Miniaturisiertes Gasinjektionssystem für die dreidimensionale CVD mittels fokussiertem Elektronen- und Ionenstrahll

Research unit

INNOSUISSE

Project number

10314.1;3 INST-NM

Project title

Miniaturisiertes Gasinjektionssystem für die dreidimensionale CVD mittels fokussiertem Elektronen- und Ionenstrahll

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Short description (German)	Miniaturisiertes Gasinjektionssystem für die dreidimensionale CVD mittels fokussiertem Elektronen- und Ionenstrahll