Miniaturisiertes Gasinjektionssystem für die dreidimensionale CVD mittels fokussiertem Elektronen- und Ionenstrahll

Forschungsstelle

INNOSUISSE

Projektnummer

10314.1;3 INST-NM

Projekttitel

Miniaturisiertes Gasinjektionssystem für die dreidimensionale CVD mittels fokussiertem Elektronen- und Ionenstrahll

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Kurzbeschreibung		-	-	-

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Kurzbeschreibung (Deutsch)	Miniaturisiertes Gasinjektionssystem für die dreidimensionale CVD mittels fokussiertem Elektronen- und Ionenstrahll