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Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
7129.3;2 NMPP-NM
Projekttitel
NANOscan: Lineartechnologie für zukünftige Halbleiter-Inspektionssysteme
Projekttitel Englisch
NANOscan: Linear technology for future semiconductor inspection systems

Texte zu diesem Projekt
 DeutschFranzösischItalienischEnglisch
Kurzbeschreibung
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Abstract
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Erfasste Texte


KategorieText
Kurzbeschreibung
(Deutsch)
NANOscan: Lineartechnologie für zukünftige Halbleiter-Inspektionssysteme
Kurzbeschreibung
(Englisch)
NANOscan: Linear technology for future semiconductor inspection systems
Abstract
(Deutsch)
Zukünftige Linearsysteme für Waferbelichtung und ¿inspektion müssen extrem hohe Anforderungen bezüglich Ablauf- und Positioniergenauigkeit erfüllen und zugleich ist die Auswahl der verwendbaren Werkstoffe sehr stark eingeschränkt. Im Projekt sollen die Messtechnik, die Grundlagen der elektronischen Steuerung sowie mechanische und werkstofftechnische Designrichtlinien für solche Linearsysteme erarbeitet werden.