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Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
7129.3;2 NMPP-NM
Projekttitel
NANOscan: Lineartechnologie für zukünftige Halbleiter-Inspektionssysteme
Projekttitel Englisch
NANOscan: Linear technology for future semiconductor inspection systems

Beteiligte
Bundesstelle/ Verwaltungseinheit Innosuisse
Schweizerische Agentur
für Innovationsförderung
Einsteinstrasse 2
CH-3003 Bern
+41 58 461 61 61 (Zentrale)
info@innosuisse.ch
www.innosuisse.ch/
Kontaktperson

 Dr.
Ronald Vuillemin
Hochschule für Technik
und Architektur Luzern
Technikumstr. 21
CH-6048 Horw
041 349 33 95
rvuillemin@hta.fhz.ch