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Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
7129.3;2 NMPP-NM
Projekttitel
NANOscan: Lineartechnologie für zukünftige Halbleiter-Inspektionssysteme
Projekttitel Englisch
NANOscan: Linear technology for future semiconductor inspection systems
Projektstatus Abgeschlossen
 
Startdatum 01.10.2004
Endedatum 28.06.2006
 
Gesamtkosten bewilligt 515'000.00  CHF
Bereich 22 Förderbereich Nano / Micro
Proj. Kategorie Projekt
Forschungsart Angewandte Forschung und Entwicklung
NABS-Klassifikation Industrielle Produktivität und Technologie
 
Fachbereiche
100 % T171 Mikroelektronik
Letzte Änderung Projekt
27.11.2014