Integrated Magnetic Bearing and Drive System for Semiconductor Wafers

• Unité de recherche: INNOSUISSE
• Numéro de projet: 8068.2;4 NMPP-NM
• Titre du projet anglais: Integrated Magnetic Bearing and Drive System for Semiconductor Wafers

Description succincte (Allemand)

Integriertes magnetisches Lagerungs- und Antriebssystem für Halbleiter-Wafer

Description succincte (Anglais)

Integrated Magnetic Bearing and Drive System for Semiconductor Wafers

Résumé des résultats (Abstract) (Allemand)

Bei vielen Prozessen in der Herstellung von Integrierten Halbleiterschaltungen wird der Wafer um seine eigene Achse rotiert. Damit wird eine homogenere Einwirkung des Prozesses (z.B. der Wärmestrahlung beim sogenannten 'Rapid Thermal Processing', abgekürzt RTP) auf den Wafer erreicht. In dem zur Förderung beantragten Projekt 'Integriertes magnetisches Lagerungs- und Antriebssystem für Halbleiter- Wafer' soll ein System zur berührungsfreien magnetischen Lagerung und Rotation eines 300 mm Wafers durch die Wand einer Prozesskammer hindurch entwickelt werden.