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Research unit
INNOSUISSE
Project number
8068.2;4 NMPP-NM
Project title
Integrated Magnetic Bearing and Drive System for Semiconductor Wafers

Texts for this project
 GermanFrenchItalianEnglish
Short description
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Abstract
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Inserted texts


CategoryText
Short description
(German)
Integriertes magnetisches Lagerungs- und Antriebssystem für Halbleiter-Wafer
Short description
(English)
Integrated Magnetic Bearing and Drive System for Semiconductor Wafers
Abstract
(German)
Bei vielen Prozessen in der Herstellung von Integrierten Halbleiterschaltungen wird der Wafer um seine eigene Achse rotiert. Damit wird eine homogenere Einwirkung des Prozesses (z.B. der Wärmestrahlung beim sogenannten 'Rapid Thermal Processing', abgekürzt RTP) auf den Wafer erreicht. In dem zur Förderung beantragten Projekt 'Integriertes magnetisches Lagerungs- und Antriebssystem für Halbleiter- Wafer' soll ein System zur berührungsfreien magnetischen Lagerung und Rotation eines 300 mm Wafers durch die Wand einer Prozesskammer hindurch entwickelt werden.