Untersuchung der plasmachemischen Reaktion bei der Reinigung von Metallen und Si-Wafern

Unité de recherche

INNOSUISSE

Numéro de projet

2634.1;1 MJK

Titre du projet

Untersuchung der plasmachemischen Reaktion bei der Reinigung von Metallen und Si-Wafern

Etat du projet	Terminé

Date de début	19.09.1993
Date de fin	14.11.1996

Coûts totaux approuvés	114'600.00 CHF
Domaine	7 Crédit pluriannuel
Catégorie de projet	Projet
Type de recherche	Recherche appliquée et développement
Code NABS	Production et technologie industrielles

Disciplines/domaines	100 % Pas encore déterminé

Dernière modification du projet 27.11.2014