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Unité de recherche
INNOSUISSE
Numéro de projet
51074.1 IP-ENG
Titre du projet
SiC-Si-Pro: Prozessverbesserung für das Diamantdrahtsägen von Siliziumcarbidwafern und grossen Siliziumwafern für Halbleiter und auf Basis wissenschaftlicher Erkenntnisse
Titre du projet anglais
SiC-Si-Pro: Prozessverbesserung für das Diamantdrahtsägen von Siliziumcarbidwafern und grossen Siliziumwafern für Halbleiter und auf Basis wissenschaftlicher Erkenntnisse
Etat du projet Terminé
 
Date de début 01.11.2021
Date de fin 01.11.2023
 
Coûts totaux approuvés 614'163.11  CHF
Domaine 70 Engineering
Catégorie de projet Projet
Type de recherche Recherche appliquée et développement
Code NABS Production et technologie industrielles
 
Disciplines/domaines
100 % T210 Mécanique/acoustique appliquée,hydraulique,technologie du vide,vibrations
Dernière modification du projet