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Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
51074.1 IP-ENG
Projekttitel
SiC-Si-Pro: Prozessverbesserung für das Diamantdrahtsägen von Siliziumcarbidwafern und grossen Siliziumwafern für Halbleiter und auf Basis wissenschaftlicher Erkenntnisse
Projekttitel Englisch
SiC-Si-Pro: Prozessverbesserung für das Diamantdrahtsägen von Siliziumcarbidwafern und grossen Siliziumwafern für Halbleiter und auf Basis wissenschaftlicher Erkenntnisse
Projektstatus Abgeschlossen
 
Startdatum 01.11.2021
Endedatum 01.11.2023
 
Gesamtkosten bewilligt 614'163.11  CHF
Bereich 70 Engineering
Proj. Kategorie Projekt
Forschungsart Angewandte Forschung und Entwicklung
NABS-Klassifikation Industrielle Produktivität und Technologie
 
Fachbereiche
100 % T210 Masch.bau, Hydraulik, Vakuumtechnik, mech. Schwingungen, tech. Akustik
Letzte Änderung Projekt