Extrem partikelarmer 300 mm Conditioning Tower für Halbleiterprozessanlagen der Technologieknoten < 10 nm

Unité de recherche

INNOSUISSE

Numéro de projet

25719.2 PFNM-NM

Titre du projet

Extrem partikelarmer 300 mm Conditioning Tower für Halbleiterprozessanlagen der Technologieknoten < 10 nm

Titre du projet anglais

Extrem partikelarmer 300 mm Conditioning Tower für Halbleiterprozessanlagen der Technologieknoten < 10 nm

Etat du projet	Terminé

Date de début	01.08.2017
Date de fin	01.01.2019

Coûts totaux approuvés	498'968.88 CHF
Domaine	22 Förderbereich Nano / Micro
Catégorie de projet	Projet
Type de recherche	Recherche appliquée et développement
Code NABS	Production et technologie industrielles

Disciplines/domaines	100 % T171 Microélectronique

Dernière modification du projet