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Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
25719.2 PFNM-NM
Projekttitel
Extrem partikelarmer 300 mm Conditioning Tower für Halbleiterprozessanlagen der Technologieknoten < 10 nm
Projekttitel Englisch
Extrem partikelarmer 300 mm Conditioning Tower für Halbleiterprozessanlagen der Technologieknoten < 10 nm

Beteiligte
Bundesstelle/ Verwaltungseinheit Innosuisse
Schweizerische Agentur
für Innovationsförderung
Einsteinstrasse 2
CH-3003 Bern
+41 58 461 61 61 (Zentrale)
info@innosuisse.ch
www.innosuisse.ch/
Kontaktperson

 Professor Doktor
Martin Gutsche
OST - Ostschweizer Fachhochschule
Buchs
Werdenbergstrasse 4
CH-9471 Buchs SG
+41 81 755 34 68
martin.gutsche@ost.ch

Wirtschaftspartner

 Gerhard Dovids
Tec-Sem
Lohstampfestrasse 11
CH-8274 Tägerwilen
+41 71 6667239
gerhard.dovids@tec-sem.com