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Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
25719.2 PFNM-NM
Projekttitel
Extrem partikelarmer 300 mm Conditioning Tower für Halbleiterprozessanlagen der Technologieknoten < 10 nm
Projekttitel Englisch
Extrem partikelarmer 300 mm Conditioning Tower für Halbleiterprozessanlagen der Technologieknoten < 10 nm
Projektstatus Abgeschlossen
 
Startdatum 01.08.2017
Endedatum 01.01.2019
 
Gesamtkosten bewilligt 498'968.88  CHF
Bereich 22 Förderbereich Nano / Micro
Proj. Kategorie Projekt
Forschungsart Angewandte Forschung und Entwicklung
NABS-Klassifikation Industrielle Produktivität und Technologie
 
Fachbereiche
100 % T171 Mikroelektronik
Letzte Änderung Projekt