Development of a Novel High-Resolution Photolithography 6' System for Efficient LEDs and Other Photonic Devices

Unité de recherche

INNOSUISSE

Numéro de projet

13498.1;5 PFFLM-NM

Titre du projet

Development of a Novel High-Resolution Photolithography 6' System for Efficient LEDs and Other Photonic Devices

Titre du projet anglais

Development of a Novel High-Resolution Photolithography 6' System for Efficient LEDs and Other Photonic Devices

Etat du projet	Terminé

Date de début	01.01.2012
Date de fin	19.12.2013

Coûts totaux approuvés	282'305.00 CHF
Domaine	5 CTI
Catégorie de projet	Projet
Type de recherche	Recherche appliquée et développement
Code NABS	Recherches non ventilées / non attribuables

Disciplines/domaines	100 % Pas encore déterminé

Dernière modification du projet 27.11.2014