Development of a Novel High-Resolution Photolithography 6' System for Efficient LEDs and Other Photonic Devices

Forschungsstelle

INNOSUISSE

Projektnummer

13498.1;5 PFFLM-NM

Projekttitel

Development of a Novel High-Resolution Photolithography 6' System for Efficient LEDs and Other Photonic Devices

Projekttitel Englisch

Development of a Novel High-Resolution Photolithography 6' System for Efficient LEDs and Other Photonic Devices

Beteiligte
Bundesstelle/ Verwaltungseinheit	Innosuisse Schweizerische Agentur für Innovationsförderung Einsteinstrasse 2 CH-3003 Bern +41 58 461 61 61 (Zentrale) info@innosuisse.ch www.innosuisse.ch/

Kontaktperson

Prof. Dr.
Jens Gobrecht
PSI Paul Scherrer Institut
ODRA / 102
CH-5232 Villigen PSI
056 310 2529
jens.gobrecht@psi.ch

Beteiligte