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Research unit
INNOSUISSE
Project number
10314.1;3 INST-NM
Project title
Miniaturisiertes Gasinjektionssystem für die dreidimensionale CVD mittels fokussiertem Elektronen- und Ionenstrahll
Project status Finished
 
Start date 15.04.2009
End date 03.03.2010
 
Granted total costs 7'500.00  CHF
Section 19 Förderbereich GL
Project category Project
Research type Applied research and development
NABS classification Non divisible / inclassable research
 
Research disciplines
100 % T171 Microelectronics
Last modification of the project
27.11.2014