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Unité de recherche
INNOSUISSE
Numéro de projet
7129.3;2 NMPP-NM
Titre du projet
NANOscan: Linear technology for future semiconductor inspection systems
Titre du projet anglais
NANOscan: Linear technology for future semiconductor inspection systems
Etat du projet Terminé
 
Date de début 01.10.2004
Date de fin 28.06.2006
 
Coûts totaux approuvés 515'000.00  CHF
Domaine 22 Förderbereich Nano / Micro
Catégorie de projet Projet
Type de recherche Recherche appliquée et développement
Code NABS Production et technologie industrielles
 
Disciplines/domaines
100 % T171 Microélectronique
Dernière modification du projet
27.11.2014