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Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
6617.1;5 FHS-IW
Projekttitel
Development of maskless Ion Beam LIGA technology for 3D, deep and high aspect ratio micro(nano) structuring of photoresist materials
Projektstatus Abgeschlossen
 
Startdatum 15.06.2003
Endedatum 06.07.2006
 
Gesamtkosten bewilligt 270'000.00  CHF
Bereich 14 FH
Proj. Kategorie Projekt
Forschungsart Angewandte Forschung und Entwicklung
NABS-Klassifikation Industrielle Produktivität und Technologie
 
Fachbereiche
100 % T150 Werkstofftechnologie
Letzte Änderung Projekt
27.11.2014