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Research unit
INNOSUISSE
Project number
51074.1 IP-ENG
Project title
SiC-Si-Pro: Prozessverbesserung für das Diamantdrahtsägen von Siliziumcarbidwafern und grossen Siliziumwafern für Halbleiter und auf Basis wissenschaftlicher Erkenntnisse

Participants

Research organisation: Innosuisse
Swiss Innovation Agency
Einsteinstrasse 2
CH-3003 Bern
+41 58 461 61 61 (Call Center)
info@innosuisse.ch
www.innosuisse.ch/
Contact person

 Brechbühler Jonas
PW WaferTec GmbH
www.uid.admin.ch/Detail.aspx?uid_id=CHE213377099

Scientific management
ETHZ - Eidgenössische Technische Ho
chschule Zürich

Scientific management
inspire AG für mechatronische Produ
ktionssysteme und Fertigungstechnik
www.uid.admin.ch/Detail.aspx?uid_id=CHE101770265

Implementation Partner


PW WaferTec GmbH
www.uid.admin.ch/Detail.aspx?uid_id=CHE213377099