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Unité de recherche
INNOSUISSE
Numéro de projet
26853.1 PFNM-NM
Titre du projet
Quadruple functionality coatings against harsh environments in plasma etch tools
Titre du projet anglais
Quadruple functionality coatings against harsh environments in plasma etch tools

Participants
Office fédéral/ Unité administrative Innosuisse
Agence suisse pour l'encouragement
de l'innovation
Einsteinstrasse 2
CH-3003 Bern
+41 58 461 61 61 (Central)
info@innosuisse.ch
www.innosuisse.ch/
Personne à contacter

 Doktor
Ivo Utke
EMPA
Feuerwerkerstrasse 39
CH-3602 Thun
+41 33 228 29 57
ivo.utke@empa.ch

Partenaire commercial

 Doktor
Bernhard Andreaus
Inficon AG
CHE-101.283.338
Alte Landstrasse 6
LI-9496 Balzers
+423 338 32 22
bernhard.andreaus@inficon.com