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Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
26853.1 PFNM-NM
Projekttitel
Quadruple functionality coatings against harsh environments in plasma etch tools
Projekttitel Englisch
Quadruple functionality coatings against harsh environments in plasma etch tools
Projektstatus Abgeschlossen
 
Startdatum 01.02.2018
Endedatum 01.06.2021
 
Gesamtkosten bewilligt 686'908.80  CHF
Bereich 22 Förderbereich Nano / Micro
Proj. Kategorie Projekt
Forschungsart Angewandte Forschung und Entwicklung
NABS-Klassifikation Industrielle Produktivität und Technologie
 
Fachbereiche
100 % T155 Beschichtung und Oberflaechenbehandlung
Letzte Änderung Projekt