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Unité de recherche
INNOSUISSE
Numéro de projet
17613.2 PFNM-NM
Titre du projet
Multilayer ALD films for capacitance diaphragm gauge sealing against halogen and oxygen industrial plasmas
Titre du projet anglais
Multilayer ALD films for capacitance diaphragm gauge sealing against halogen and oxygen industrial plasmas

Participants
Office fédéral/ Unité administrative Innosuisse
Agence suisse pour l'encouragement
de l'innovation
Einsteinstrasse 2
CH-3003 Bern
+41 58 461 61 61 (Central)
info@innosuisse.ch
www.innosuisse.ch/
Personne à contacter

 Doktor
Ivo Utke
EMPA
Feuerwerkerstrasse 39
CH-3602 Thun
+41 33 228 29 57
ivo.utke@empa.ch

Partenaire commercial

 Doktor
Bernhard Andreaus
Inficon AG
CHE-101.283.338
Alte Landstrasse 6
LI-9496 Balzers
+423 338 32 22
bernhard.andreaus@inficon.com