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Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
17613.2 PFNM-NM
Projekttitel
Multilayer ALD films for capacitance diaphragm gauge sealing against halogen and oxygen industrial plasmas
Projekttitel Englisch
Multilayer ALD films for capacitance diaphragm gauge sealing against halogen and oxygen industrial plasmas

Beteiligte
Bundesstelle/ Verwaltungseinheit Innosuisse
Schweizerische Agentur
für Innovationsförderung
Einsteinstrasse 2
CH-3003 Bern
+41 58 461 61 61 (Zentrale)
info@innosuisse.ch
www.innosuisse.ch/
Kontaktperson

 Doktor
Ivo Utke
EMPA
Feuerwerkerstrasse 39
CH-3602 Thun
+41 33 228 29 57
ivo.utke@empa.ch

Wirtschaftspartner

 Doktor
Bernhard Andreaus
Inficon AG
CHE-101.283.338
Alte Landstrasse 6
LI-9496 Balzers
+423 338 32 22
bernhard.andreaus@inficon.com