Halbleiterpassivierungsschichten auf der Basis harter, amorpher Kohlenstoffschichten

Unité de recherche

INNOSUISSE

Numéro de projet

3302.1;2 KTS

Titre du projet

Halbleiterpassivierungsschichten auf der Basis harter, amorpher Kohlenstoffschichten

Projets afférents

Unité de recherche:	Schweizerische Agentur für Innovationsförderung
Numéro de projet	2939.1;1 MJK
Titre du projet	Halbleiterpassivierungsschichten auf der Basis harter, amorpher Kohlenstoffschichten