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Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
3302.1;2 KTS
Projekttitel
Halbleiterpassivierungsschichten auf der Basis harter, amorpher Kohlenstoffschichten

Texte zu diesem Projekt

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Kurzbeschreibung
(Deutsch)
Halbleiterpassivierungsschichten auf der Basis harter, amorpher Kohlenstoffschichten