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Research unit
INNOSUISSE
Project number
3302.1;2 KTS
Project title
Halbleiterpassivierungsschichten auf der Basis harter, amorpher Kohlenstoffschichten

Associated projects
Research organisation: Schweizerische Agentur für Innovationsförderung
Project number 2939.1;1 MJK
Project title Halbleiterpassivierungsschichten auf der Basis harter, amorpher Kohlenstoffschichten