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Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
3302.1;2 KTS
Projekttitel
Halbleiterpassivierungsschichten auf der Basis harter, amorpher Kohlenstoffschichten

Zugehörige Projekte
Forschungsorganisation: Schweizerische Agentur für Innovationsförderung
Projektnummer 2939.1;1 MJK
Projekttitel Halbleiterpassivierungsschichten auf der Basis harter, amorpher Kohlenstoffschichten