M2S2 Laborverbund: Billige, schreibende Verfahren für Strukturen mit grossem Aspekt verhältnis in der Mikrosystemtechnik

Forschungsstelle

INNOSUISSE

Projektnummer

2804.1;1 MIE

Projekttitel

M2S2 Laborverbund: Billige, schreibende Verfahren für Strukturen mit grossem Aspekt verhältnis in der Mikrosystemtechnik

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Kurzbeschreibung (Deutsch)	M2S2 Laborverbund: Billige, schreibende Verfahren für Strukturen mit grossem Aspekt verhältnis in der Mikrosystemtechnik