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Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
2804.1;1 MIE
Projekttitel
M2S2 Laborverbund: Billige, schreibende Verfahren für Strukturen mit grossem Aspekt verhältnis in der Mikrosystemtechnik
Projektstatus Abgeschlossen
 
Startdatum 01.07.1993
Endedatum 03.10.1996
 
Gesamtkosten bewilligt 314'000.00  CHF
Bereich 8 Mikroelektronik
Proj. Kategorie Projekt
Forschungsart Angewandte Forschung und Entwicklung
NABS-Klassifikation Industrielle Produktivität und Technologie
 
Fachbereiche
100 % Noch nicht erfasst
Letzte Änderung Projekt
27.11.2014