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Research unit
INNOSUISSE
Project number
2210.1;1 MJK
Project title
Grundlagenerarbeitung von mikromechanischen Strukturen für elektrische Schaltelemente und mikromechanische Optosensoren

Texts for this project
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(German)
Grundlagenerarbeitung von mikromechanischen Strukturen für elektrische Schaltelemente und mikromechanische Optosensoren