Grundlagenerarbeitung von mikromechanischen Strukturen für elektrische Schaltelemente und mikromechanische Optosensoren

Forschungsstelle

INNOSUISSE

Projektnummer

2210.1;1 MJK

Projekttitel

Grundlagenerarbeitung von mikromechanischen Strukturen für elektrische Schaltelemente und mikromechanische Optosensoren

Beteiligte
Bundesstelle/ Verwaltungseinheit	Innosuisse Schweizerische Agentur für Innovationsförderung Einsteinstrasse 2 CH-3003 Bern +41 58 461 61 61 (Zentrale) info@innosuisse.ch www.innosuisse.ch/

Kontaktperson

Prof. Dr.
Gerhard STAUFERT
Interstaatliche Hochschule für Tech
Werdenbergstrasse 4
CH-9470 BUCHS
081 755 3401

Beteiligte