Grundlagenerarbeitung von mikromechanischen Strukturen für elektrische Schaltelemente und mikromechanische Optosensoren

Forschungsstelle

INNOSUISSE

Projektnummer

2210.1;1 MJK

Projekttitel

Grundlagenerarbeitung von mikromechanischen Strukturen für elektrische Schaltelemente und mikromechanische Optosensoren

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Kurzbeschreibung (Deutsch)	Grundlagenerarbeitung von mikromechanischen Strukturen für elektrische Schaltelemente und mikromechanische Optosensoren