Model Predictive Control for Wafer Transport in Thin Film Deposition Tools using Combinatorial Optimization

• Unité de recherche: INNOSUISSE
• Numéro de projet: 127.036 IP-ICT
• Titre du projet anglais: Model Predictive Control for Wafer Transport in Thin Film Deposition Tools using Combinatorial Optimization

Mots-clé (Anglais)

ICT, Automation, Process engineering, Advanced manufacturing

Résumé des résultats (Abstract) (Allemand)

Im Projekt wird eine Anlagensteuerung für Dünnfilm-Beschichtungsanlagen entwickelt. Es wird ein Algorithmus entwickelt, der mit Hilfe Modellprädiktiver Regelung Fertigungsschritte in eine optimale Reihenfolge bringt, um Anlagenstillstände zu vermeiden und den Durchsatz der Anlage zu maximieren.